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工业质检| 鲲云科技 x 国内微电子集团

客户简介

该微电子集团主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务,是国内最大的光刻机生产商之一。


业务挑战

Insufficient Amount of Defect Data
缺陷数据量不足
某些缺陷样本数量较少且短期内不易收集,且业内缺乏有效的公开数据集。
High Problem Complexity
问题复杂度高
晶圆缺陷种类多样性高,同种缺陷成像受工序、制程、批次、AOI设备打光条件等多种因素的影响。
High Requirements of Real-time Computation
计算实时性要求高
AOI设备成像分辨率较高,图像计算复杂度与图像分辨率正相关。

应用方案

针对复杂的晶圆表面瑕疵检测问题,鲲云提供以深度学习算法为主、传统计算机视觉算法为辅的混合型方案,融合目标检测、分类、回归、识别算法,并结合自研加速卡低延时、高性能、高算力性价比的优势,打造了一体化的AI机器视觉晶圆检测方案。


落地成果

Centralized visual safety supervision of key areas such as production sites, entrances and exits, crude oil storage areas are realized based on AI image recognition technology and 600 channels of videos accessing the field for an early warning on potential accidents in the first time;
对晶圆过显、玷污、探针、残留和擦伤等缺陷进行识别,算法精度达到99%以上。
Intelligent recognition and analysis based on 300 channels of videos throughout each operation area are achieved to relieve the pressure of massive videos inspection and reduce manpower management cost.
准确高效地实现了全线检测和分类,有效缩短产品研发周期,为企业降低50%的生产成本。

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